工学 エネルギー分散型X線分析(EDS)|SEM連携で微小領域の元素を定量
エネルギー分散型X線分析(EDS)エネルギー分散型X線分析(EDS)は、電子線照射で試料から放出される特性X線のエネルギーを分光して元素種と組成を同定・定量する手法である。一般に走査型電子顕微鏡(SEM)や透過型電子顕微鏡(TEM)に装着さ...
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