工学 デポシールド|徐放性製剤で薬効を長期維持する技術
デポシールドデポシールド(Deposition Shield、防着シールド)とは、スパッタリング装置やCVD装置など薄膜成膜プロセスにおいて、真空チャンバーの内壁や周辺部品への不要な薄膜堆積を防ぐために設置される交換可能な保護部品である。成...
工学
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