工学 光CVD|光を利用した低温薄膜成膜技術
光CVD光CVD(Photochemical Vapor Deposition、光化学気相成長法)は、光を利用して化学反応を促進し、基板表面に薄膜を形成する技術である。一般に紫外線などの高エネルギーの光を用いて反応ガスの分解を促進することに...
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