エッチング|化学的に溶かして成形する加工方法

エッチング etching

エッチングは薬品とパターンを使って化学的に溶かして成形する加工方法である。工作物にレジストと呼ばれる感光性の樹脂を塗り、上から露光でパータンを作り、不要な箇所の樹脂を除去する。最後に薬品を溶かすと、露光で作ったほしいパターンだけが残る。半導体製造装置やプリント基板の配線に広く使われている。端子のピッチが0.1mmレベルの微細加工が可能なのが特徴である。

由来

エッチ(Etch)とは‘削る’を意味する。

化学的エッチング

化学的エッチングとは、特定の化学溶液(エッチング液)を使用して、特定の材料を選択的に溶かすエッチング方法である。材料は溶解性に基づいて選択され、エッチング液が材料に接触すると、材料の表面が化学反応によって溶解する。

マスク

マスクとは、エッチングの際に使われる特定のパターンを形成するための保護材料である。マスクをしたところは、削ることができないまま残り、マスクをしなかったところが溶けてなくなる。マスクの質が微細なパターンや構造の作成を左右する。

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