工学 フラッシュランプアニール|ミリ秒単位の光照射で次世代半導体を熱処理
フラッシュランプアニールフラッシュランプアニール(Flash Lamp Anneal、略称:FLA)とは、半導体ウェーハの表面をキセノンフラッシュランプなどの高輝度光源を用いて、ミリ秒(1000分の1秒)単位の極めて短い時間で加熱する熱処理...
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