工学 レーザーダイシング|非接触加工でチップを切り出す精密技術
レーザーダイシングレーザーダイシングとは、半導体製造工程において、シリコンなどのウェハ上に形成された多数のチップを個々の断片(ダイ)に切り分けるための精密加工技術である。従来のダイヤモンドブレードを用いた機械的な切断手法に対し、レーザー光の...
工学
工学
工学
工学
工学
工学
工学
工学
工学
工学