工学 オリエンテーションフラット|半導体ウエハの結晶方位を示す平坦部
オリエンテーションフラット オリエンテーションフラット(Orientation Flat)とは、主に半導体製造工程で用いられるシリコンウェーハなどの円盤状の基板において、その外周部の一部を直線状に切り欠いた平坦な部分のことである。略して「オ...
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