電子ビーム加工|電子ビームを利用した微細加工 工学 2023.02.09 電子ビーム加工 電子ビーム加工とは、特殊な硬度の高い金属、ガラス、セラミックス、宝石などに用いられる微細加工で、真空中で高いエネルギーの電子ビームを利用することで、熱を発生させ、その力で、それらの材料を局部的に穴あけや切断を行う。電子ビームの特性を利用し、微細な穴をあけるなど微細加工することができる。