XPS

表面分析装置表面分析装置は、材料や部品の表面に存在する元素組成や化学結合状態、形状特性などを高精度で評価するために用いられる。素材開発や品質管理の現場では、微小領域での汚染・酸化膜・被膜厚さを可視化し、不良原因の特定や寿命予測に大きく貢献す...