Ion Scattering Spectroscopy

ISSISS（Ion Scattering Spectroscopy）とは、低エネルギーイオンを試料表面に照射し、反射されたイオンのエネルギー分布や散乱角度を解析することで表面組成や原子配列を評価する分析手法である。半導体プロセスや材料表面...