非破壊

単一波長エリプソメーター 単一波長エリプソメーターは、特定の単色光（レーザーや干渉フィルタを用いてスペクトルを狭帯域化した光源）を用いて試料表面に光を入射し、その反射光の偏光状態変化を測定することで膜厚や光学定数（屈折率・消衰係数など...

ラマン分光 ラマン分光は、試料にレーザー光を照射して生じる散乱光を計測し、そのうち振動数の変化を検出することで分子レベルの情報を得る分光法である。一般的な分光手法と異なり、ラマン効果という分子の振動や回転などの固有エネルギー準位の差から生...

エリプソメトリー エリプソメトリーは、光の偏光状態の変化を計測することで、薄膜の厚みや屈折率などの光学定数を高精度に解析する手法である。光を物質表面に照射し、その反射光の偏光状態を検知することで、試料表面および内部構造に関する情報を得...