酸素プラズマ

プラズマクリーニング｜ガスのイオン化で表面汚染を効率除去

プラズマクリーニングプラズマクリーニングは、ガスをイオン化したプラズマを利用して対象物の表面に付着した有機汚染物質や酸化膜などを除去する技術だ。プラズマ中のイオンやラジカル種が表面を物理的・化学的に攻撃し、不純物を分解または揮発化して取り除...

酸素プラズマ｜酸素ガスを電離し高活性種を生成して表面処理に用いる技術

酸素プラズマ酸素プラズマは、酸素ガスを電力によってイオン化し、陽イオン、電子、ラジカルが混在する高エネルギー状態を作り出す技術である。真空チャンバ内で高周波やマイクロ波などの放電エネルギーを加えると、酸素分子が解離してO原子やO2+イオンな...

化学物理学