真空

プラズマガス プラズマガスとは、気体に外部エネルギーを加えて電離させた結果、イオンと電子が混在する高エネルギー状態のガスである。通常の気体とは異なり、電気的に導電性をもち、磁場や電場の影響を強く受けるという特徴がある。産業界では溶接や...

冷陰極ゲージ 冷陰極ゲージとは、真空計測のために気体分子を電離し、その電流から圧力を導き出す計測器である。高電圧を利用して電子を放出し、磁場や電界中でその電子が気体分子と衝突を繰り返すことで効率的にイオン化を促進する仕組みが特徴であり...

ピラニゲージ ピラニゲージとは、熱伝導を利用して真空度（圧力）を測定する装置である。低真空から中真空領域まで広く対応し、シンプルな構造と安定した計測が特徴である。半導体製造装置や研究施設など、真空を扱う多様な現場で活用されており、他の方式...

ウェハプロセス ウェハプロセスは、半導体チップを製造するうえで最も基本となるプロセスフローのことである。シリコン結晶から生成されるウェーハを母材とし、その表面に微細構造を作り込む一連の工程を総称しており、リソグラフィやエッチング、ドーピン...

イオンビーム 半導体や材料科学の分野で利用される高エネルギー粒子を照射する技術がイオンビームである。加速されたイオンを物質に衝突させることで、表面構造の改質や元素の注入などを極めて精密に行うことが可能とされる。IC製造や薄膜形成など多彩な...

真空炉 真空炉は、炉内部を大気圧よりも低い真空状態にし、高温で材料を加熱・処理するための装置である。空気中の酸素や水分を排除することで、酸化や不要な化学反応を抑えながら焼結・溶解・アニーリングなどの工程を実施できる点が大きな特徴となる...