微粒子

工学

二酸化シリコン|広範な産業を支える酸化物

二酸化シリコン二酸化シリコンは、ケイ素(Si)と酸素(O)が1対2の割合で結合した化合物であり、自然界では石英や珪砂などの形で広く存在する。別名としてシリカ(silica)とも呼ばれ、ガラスや光通信に用いられる光ファイバ、半導体の絶縁膜など...
工学

オイルコンタミ|潤滑油汚染の原因対策評価基準運用

オイルコンタミオイルコンタミとは、潤滑油や作動油に固形粒子・水分・酸化生成物・微生物・気泡などの異物が混入し、油の機能を阻害する現象である。清浄度の低下は摩耗促進、バルブ固着、シール劣化、発熱・効率低下を招き、生産設備の信頼性と寿命を大きく...
工学

コンタミネーション|微細汚染を排除し高品質を維持する

コンタミネーションコンタミネーションは、製造工程や研究開発の場で不要な物質や微生物、粒子などが混入し、製品や装置、実験結果に悪影響を与える現象を指す。特に半導体や医薬品など高い清浄度を必要とする領域では、わずかな汚染が製品歩留まりや性能を大...
工学

パーティクル(半導体)|クリーンルームや装置で制御すべき微粒子

パーティクルパーティクルは、半導体やディスプレイなどの製造工程で問題となる微粒子を指す言葉で、数ナノメートルから数ミクロンの大きさを持つ粒子全般を含む。微細加工が進むほど、わずかな粒子でも回路や膜を傷つけ、不良や歩留まり低下の原因になりやす...