工学 逆電圧｜電子部品を逆方向から保護する
逆電圧
逆電圧とは、電気回路において逆方向（通常想定される電流方向と逆向き）に印加される電圧のことである。特に半導体素子や回路設計においては重要な概念であり、ダイオードやトランジスタなどの部品が受ける逆電圧の大きさによって動作限界や安...
半導体
工学 工学 ダイオード整流｜交流を直流に変換する基盤技術
ダイオード整流
ダイオード整流は、交流電圧を直流電圧に変換する最も基本的な手法の一つである。ダイオードはアノードからカソードへ電流を一方向に流す性質を持ち、逆方向への電流はほとんど遮断する。これを利用して交流波形の片側だけを取り出すと、直...
工学 トライアック（Triac）｜双方向制御で高電力交流を動作可能
トライアック（Triac）
交流回路を制御するために利用される半導体素子がトライアック（Triac）である。これはサイリスタの一種で、正負両方向に電流を流せる点が大きな特徴となる。交流の正半周期と負半周期のいずれに対してもゲートに所定のト...
工学 トリガー電流｜制御素子を導通状態へ移行させるために必要な電流値
トリガー電流
パワーエレクトロニクスにおいて制御素子を導通状態へ移行させるために必要な電流値がトリガー電流である。特にサイリスタやTRIACなどのゲート制御型デバイスでは、ゲート端子に一定以上の電流が流れ込むことで内部のPN接合が正方向に...
工学 シリコン素子｜シリコンを用いて作られた電子部品
シリコン素子
シリコン素子とは、半導体材料であるシリコン(Si)を用いて作られた電子部品の総称である。代表例としてはダイオード、トランジスタ、MOSFET、IGBTなどが挙げられる。これらの素子は電気の流れを制御・増幅する役割を担い、電子...
工学 超高速露光技術｜高精度かつ超高速露光を可能にする
超高速露光技術
超高速露光技術とは、半導体製造や微細加工の現場で極めて短い時間でレジストを露光し、高精度のパターン形成を実現するための技術である。従来のフォトリソグラフィ工程では、露光速度と解像度のバランスに制約があったが、近年の光源・光...
工学 CD-SEM（臨界寸法計測SEM）｜先端微細寸法の要を担う計測技術
CD-SEM（臨界寸法計測SEM）
半導体の微細加工技術が進展するにつれ、ナノメートルオーダーの線幅やスペースを正確に計測する必要性が高まっている。その要となるのがCD-SEM(臨界寸法計測SEM)である。CDは“Critical Dim...
工学 ArF液浸露光装置｜液浸技術による193nmのArF光源での微細化
ArF液浸露光装置
半導体リソグラフィにおいて微細化を実現するためには、高い解像度と安定したプロセス制御が欠かせない。従来のドライ型プロセスでは、大気中（空気）の屈折率が約1.0であることがボトルネックとなり、限界解像度が物理的に制約...
工学 露光装置の種類｜半導体工程を支える中核的生産装置
露光装置の種類
半導体製造工程で欠かせない技術の一つにフォトリソグラフィがある。フォトリソグラフィではシリコンウェハ上のフォトレジスト層にパターンを転写するが、その転写を実行する際に用いられるのが露光装置である。これらの装置は微細な回...
工学 ダイヤモンド｜地球上で最も硬い天然鉱物
ダイヤモンド
ダイヤモンドは炭素原子がsp3混成軌道で結合した結晶であり、地球上で最も硬い天然鉱物の1つである。モース硬度10の硬度を持つだけでなく、高い熱伝導率や光学特性など極めて優れた物性を示す。宝石としての美しさが広く知られているが...