半導体製造

ナトリウム ナトリウムは原子番号11のアルカリ金属元素である。元素記号はNaで表されることが多く、常温常圧下では銀白色の柔らかい固体として存在する。空気中では速やかに酸化され、さらに水と激しく反応して水酸化ナトリウムと水素を生成するなど、...

荷電粒子ビーム 荷電粒子ビームとは、電子やイオンなど電荷を帯びた粒子を加速・制御して形成されるビームである。高エネルギーの粒子を狙った方向へ束状に飛ばすため、物質の内部構造分析や材料加工、さらには医療用の照射など、多岐にわたる分野で応...

冷陰極ゲージ 冷陰極ゲージとは、真空計測のために気体分子を電離し、その電流から圧力を導き出す計測器である。高電圧を利用して電子を放出し、磁場や電界中でその電子が気体分子と衝突を繰り返すことで効率的にイオン化を促進する仕組みが特徴であり...

電子ビーム 電子ビームとは、電子を高速度で加速し細い流束として照射する技術である。真空環境で制御された電子の流れが持つ高エネルギーをさまざまな分野で活用し、微細加工や溶接、半導体製造、医学などの現場で重要な役割を担う。電子の性質を最大限に...

キセノン キセノンとは、周期表の18族に属する希ガス元素であり、空気中にわずか0.0000087%程度含まれる非常に希少な気体である。無色無臭で化学的に不活性な点が特徴的であり、特殊な条件下を除けばほとんど他の元素と化合しない。この性...

ハロゲン系ガス ハロゲン系ガスとは、ハロゲン元素（フッ素、塩素、臭素、ヨウ素、アスタチン）の原子を含む気体状化合物の総称である。半導体製造や医療、殺菌処理など多方面にわたり利用価値が高い一方で、強い反応性や毒性による環境・安全リスクを伴う...

アルゴン アルゴンとは周期表の18族に属する希ガス元素であり、空気中に約0.93%含まれている無色無臭の気体である。化学的に非常に安定であることから反応性に乏しく、多くの産業分野で保護ガスや不活性ガスとして利用されている。工業、研究、...

フッ化水素酸 フッ化水素酸とは、水素とフッ素の化合物であるフッ化水素（HF）が水に溶解した溶液の総称であり、非常に強い腐食性を示すことが特徴とされる。ガラスや金属を強力に侵すため、工業や研究など幅広い分野で利用されているが、取り扱いに...