プラズマクリーニング

プラズマクリーニングプラズマクリーニングは、ガスをイオン化したプラズマを利用して対象物の表面に付着した有機汚染物質や酸化膜などを除去する技術だ。プラズマ中のイオンやラジカル種が表面を物理的・化学的に攻撃し、不純物を分解または揮発化して取り除...