工学 ロードロックチャンバ｜真空と大気を隔てる ロードロックチャンバ半導体製造や精密工業の分野で活躍するロードロックチャンバは、真空中で行われるプロセスと大気圧環境とを隔てる重要な要素である。大気側からワーク（ウェハなど）を搬入する際には、まずロードロックチャンバ内部にワークを置き、扉を... 2025.04.03 工学
工学 コンタミネーション｜微細汚染を排除し高品質を維持する コンタミネーションコンタミネーションは、製造工程や研究開発の場で不要な物質や微生物、粒子などが混入し、製品や装置、実験結果に悪影響を与える現象を指す。特に半導体や医薬品など高い清浄度を必要とする領域では、わずかな汚染が製品歩留まりや性能を大... 2024.12.22 工学
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