工学 TEG|工程ばらつきを数値化し品質を支える評価用回路 TEGTEG(特性評価用素子)は、半導体プロセスで製造されるチップ内部の性能や歩留まりを評価する目的で設計される検査用回路である。量産製品には直接組み込まれず、生産中や開発段階でウェーハの各種パラメータを測定し、プロセスの最適化や不良解析に... 2024.12.30 工学